2017年MEMS高级培训课程

主办单位：中科院上海微系统所、麦姆斯咨询

协办单位：上海市物联网行业协会、新微创源孵化器、华强电子网、华强旗舰

一、课程设置

麦姆斯咨询于2016年10月在无锡举行了第一次MEMS高级培训课程，报名非常火爆。为继续为MEMS产业界相关人员提升专业技术能力，增强传感器创新能力，我们在2016年培训的基础上对课程和师资进行了更优化的选择和设置，更加注重理论与实践的结合，以期为学员带来最大化的收获。

2017年MEMS高级培训课程主要讲授MEMS成熟器件（如加速度计、MEMS麦克风、压力传感器、陀螺仪、红外传感器）和前沿器件（如微流控芯片、生物传感器、电化学传感器）的设计、制造、封测和应用知识，同时对MEMS制造工艺的特殊性、重点难点和解决方案进行深入的讲解，最后还将带领学员实地参观上海微系统所的微系统技术加工服务平台。

二、培训对象

主要面向高等院校学生和老师，MEMS设计、制造、封测及终端应用相关企业的初级和中级技术人员以及高级管理人员，也欢迎参加其它希望了解MEMS技术和产业的非MEMS背景人员。

三、培训时间

2017年10月20日全天、10月21日全天和10月22日上午，共计2.5天。

本课程赠送上海微系统所的微系统技术加工服务平台实地参观：时间：10月22日下午；地点：上海市宜山路800号。

日程安排：

10月19日下午15:00-17:00或10月20日上午8:00-8:25报到。

10月20日至10月22日期间的上课时间：

上午：8:30-12:00
下午：13:00-16:30

四、培训地点

中国科学院上海微系统与信息技术研究所：上海市长宁路865号

五、课程内容

课程一：传统MEMS器件及应用

讲师：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 李昕欣 研究室主任/研究员

本课程介绍MEMS压力传感器、MEMS麦克风和红外热电堆传感器的产业链各环节关键技术和典型应用，重点讲解李昕欣小组国际独创“微创手术（MIS）”MEMS工艺。该项工艺可在半导体代工厂量产，与Bosch的APS工艺和意法半导体的VENSENS工艺同为相互竞争的第三代单芯片MEMS通用工艺。

课程目录：
1. MEMS压力传感器的设计、制造、封装和测试，以及典型应用
2. MEMS麦克风的设计、制造、封装和测试，以及典型应用
3. 红外热电堆传感器的设计、制造、封装和测试，以及典型应用

讲师：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 杨恒 研究员

本课程介绍MEMS谐振器、陀螺仪、加速度计的产业链各环节关键技术和典型应用，重点讲解上海微系统所最新的MEMS技术成果。

课程目录：
1. MEMS谐振器的设计、制造、封装和测试，以及典型应用
2. 陀螺仪的设计、制造、封装和测试，以及典型应用
3. 加速度计的设计、制造、封装和测试，以及典型应用

课程二：前沿MEMS器件及其应用

讲师：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 金庆辉 研究员

本课程主要针对一些前沿的生物和化学MEMS传感器技术，以及典型应用进行讲解，如生物传感器、电化学传感器、环境监测和食品安全监测物联网等。

课程目录：
1. 生物传感器技术及典型应用
2. 电化学传感器传感器技术及典型应用
3. 环境监测和食品安全检测

讲师：北京大学 陈兢 教授/博士生导师

本课程介绍不同基底的微流控芯片技术，以及典型应用，重点讲解适合于低成本、大批量生产的微流控制造技术。

课程目录：
1. 微流控技术概述
2. 微流控芯片常用材料及加工方法
3. 微流控与POCT

课程三：MEMS制造工艺

讲师：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 冯飞 研究员

本课程概述CMOS制造工艺，重点讲解MEMS制造工艺，其中MEMS制造工艺包括体微加工技术、表面微加工技术和CMOS MEMS技术，以及全球主要MEMS代工厂和中国科研机构MEMS工艺线。

课程目录：
1. CMOS制造工艺
2. MEMS制造工艺
3. 全球主要MEMS代工厂
4. 中国科研机构MEMS工艺线
5. 上海微系统所工艺能力介绍

讲师：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 戈肖鸿 高级工程师

本课程带领学员实地参观上海微系统所的微系统技术加工服务平台。该平台由微系统加工平台和微系统封装平台两部分组成，分别位于上海微系统所漕河泾园区内主楼的一层和二层净化间内。整个平台拥有114台套先进的大中型设备，总价值达1.1亿元，可以完成从微芯片制造、芯片封装、器件测试、微系统集成等成套工艺，为微系统研究提供有力的技术保障。

6、培训费用和报名方式咨询

请按照以下联系方式发送电子邮件给我们，邮件题目格式为：报名+MEMS高级培训课程+单位名称+人数。

麦姆斯咨询
联系人一：吴越
电 话：15190305084
E-mail：WuYue@MEMSConsulting、com

麦姆斯咨询
联系人二：郭蕾
电 话：13914101112
E-mail：GuoLei@MEMSConsulting、com