2017年全球光刻机出货294台,ASML接近7成
目前全球知名厂商都是ASML的客户,包括Intel、Samsung、TSMC、SK Hynix、UMC、GF等等全球一线公司。
EUV光刻机方面:ASML已经开始批量出货,而Nikon还要进行突破,而Canon似乎已经退出了竞争。
2017年ASML共出货198台光刻机,其中EUV光刻机11台,ArFi光刻机76台,ArF光刻机14台,KrF光刻机71台,i-line光刻机26台。2017年单台EUV机台平均售价超过1亿欧元,而且是有价无货。2018年一季度的售价更是接近1.2亿欧元。
而2017年全年Nikon仅出货27台,ArFi光刻机6台,ArF光刻机8台,KrF光刻机2台,i-line光刻机11台。
而Canon在2017年虽然出货达70台,但是i-line光刻机出货超过50台是,剩下的也是KrF机台。
笔者研究发现,自从ASML和TSMC共同研发浸液式光刻机成功后,2008年4月TSMC就彻底放弃了日本光刻机,至今已经整整10年没有买过一台日本光刻机。
韩国客户也于2008年10月放弃日本光刻机。
2008年和2009年是个分水岭,ASML在光刻机市场一路前行,Canon、Nikon一路败退。
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