EUV光刻机交付受到阻拦？ASML：不只是中国客户

华强电子网消息，此前有媒体报道，中国厂商向ASML订购的EUV光刻机多次受到阻拦无法发货。而ASML日前在官网发表公告，详细说明了COVID-19疫情给他们的业务所带来的影响。

公告中显示，COVID-19的爆发对ASML的制造能力影响有限。此外，从客户的角度来看，今年对系统的需求并没有减少。但因为疫情所造成的相关效应，还是对ASML造成了部分影响。

ASML总裁兼首席执行官PeterWennink表示：“首先，由于COVID-19造成的托运和旅行限制，我们在运往中国武汉以及其他客户的DUV光刻机方面遇到了一些延误。第二，我们在供应链中遇到了一些问题，但目前这些问题已经得到解决。再加上第一批nxe：3400 C型号在最终配置中的周期比最初计划的长，这导致了发货延迟。第三，由于担心在当前情况下系统的持续运输能力，一些客户要求我们在正常工厂验收测试（FAT）之前装运这些系统，以加快EUV系统的交付。这意味着我们的收入也将会被延迟，因为最终验收将在客户现场成功安装后进行。”

2018年5月，有知情人士透露国内最大晶圆代工厂中芯国际向ASML下单了一台价值1.2亿美元的EUV设备，预计2019年底交付，2020年进行安装。但由于未知原因，这台EUV光刻机始终未能交付。

适逢国际形势紧张，有不少媒体猜测ASML是受到了某方势力限制，因此一再延迟交付。但从ASML的公告上看，交付延迟的原因主要是旅行限制、供应链问题和交付前的准备工作。那么也就是说，ASML向中国出口光刻机设备并没有受到疫情之外的阻拦。

据中芯国际刚刚披露的2019年年报显示，其在先进製程研发方面取得了突破性进展。第一代14nm FinFET技术已进入量产，在2019年四季度贡献约1%的晶圆收入，预计在2020年稳健上量，而第二代FinFET技术平台持续客户导入。

但要追上目前全球领先的7nm、5nm等制程，就需要更高端的EUV光刻机。目前全球仅有荷兰ASML能够为芯片制造商提供EUV光刻机。而且ASML的EUV光刻机的产能也比较有限，整个2017年，ASML仅生产12台EUV光刻机。不过，ASML仅靠着这12台EUV光刻机，在2017年就取得13.2亿美元收入。

目前，除了台积电、英特尔、三星等世界顶尖厂商在积极追逐10nm、7nm、5nm甚至更先进的制程，由于技术和资金的问题，联电和格芯已经放缓了革新的脚步，这对于中国本土的晶圆厂而言，是个不错的发展机遇。中芯国际这些年在工艺的突破频频告捷，国产芯片崛起可期。

同时，中芯国际CEO梁孟松多次表示，目前中芯国际无需EUV光刻机，也能实现7nm工艺的生产，台积电第一代7nm工艺芯片也没有使用EUV光刻机，但是之后的5nm、3nm工艺的芯片制造则必须使用EUV光刻机。因此，相信如EUV光刻机能成功交付，将加快中芯国际追赶国际领先水平的脚步。（校对：Hobby）