大族激光:光刻机项目分辨率3-5μm,和阿斯麦没有合作

来源:澎湃新闻 作者: 时间:2020-09-23 09:22

大族激光 光刻机 阿斯麦

9月22日,大族激光科技产业集团股份有限公司在互动平台回复投资者关于是否会和荷兰阿斯麦合作研发光刻机技术时表示,公司光刻机项目分辨率3-5μm,主要聚焦在分立器件、LED等方面的应用。

大族激光表示,公司和荷兰阿斯麦公司没有合作。荷兰阿斯麦(ASML)是全球领先的半导体行业光刻系统供应商,负责设计和制造光刻机。

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此外,在回复投资者关于公司三季度订单情况时,大族激光称,公司三季度订单充足,产能利用率情况良好。公司应用于第三代半导体的设备已经实现批量销售。

大族激光1996年创立于深圳,是亚洲最大、世界排名前三的工业激光加工设备生产厂商,主要产品包括激光打标机系列、激光焊接机系列、激光切割机系列、新能源激光焊接设备、激光演示系列、PCB钻孔机系列、工业机器人等多个系列200余种工业激光设备及智能装备解决方案。


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