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Crossing推出增强版Spartan EFEM
为大规模半导体设备制造商提供高效节能的前端与后端自动装置解决方案及工程服务的领先供应商CrossingAutomation公司宣布，已经提高公司的SpartanTM设备前端模块（EFEM）的性能，将其每小时的加工能力提高至450张晶圆。改进设计
2010-04-06 07:00