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多重图案微影技术的未来发展前景
曾经，我花了大量时间谈论双重图案微影技术。我认为是时候开始展望多重图案微影的发展前景了（不要惊慌！）。正如您可能听过或者读过的一样，极紫外光微影(EUVLithography)技术似乎赶不上10nm节点的进度，甚至无法达到7nm。这意味着为了保
2013-10-18 15:46
曾经，我花了大量时间谈论双重图案微影技术。我认为是时候开始展望多重图案微影的发展前景了（不要惊慌！）。正如您可能听过或者读过的一样，极紫外光微影(EUVLithography)技术似乎赶不上10nm节点的进度，甚至无法达到7nm。这意味着为了保
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