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  • KLA-Tencor宣布推出新型Teron™ SL650光罩检测系统

    近日,KLA-Tencor公司宣布推出Teron?SL650,该产品是专为集成电路晶圆厂提供的一种新型光罩质量控制解决方案,支持20nm及更小设计节点。TeronSL650采用193nm光源及多种STARlight?光学技术,提供必要的灵敏度和

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    2014-05-29 14:22

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