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KLA-Tencor 宣佈推出新型光罩检测系统

KLA-Tencor公司针对10奈米及以下的光罩技术推出了叁款先进的光罩检测系统，Teron640、TeronSL655和光罩决策中心(RDC)。所有这叁套系统是实现目前和下一代光罩设计的关键，因此光罩和积体电路晶圆厂能够更高效地辨识微影中显着

KLA-Tencor 光罩检测系统

2016-08-18 09:33