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KLA-Tencor宣布推出针对光学和EUV 空白光罩的FlashScanTM产品线

KLA-Tencor公司宣布推出全新的FlashScanTM空白光罩*检测产品线。自从1978年公司推出第一台检测系统以来，KLA-Tencor一直是图案光罩检测的主要供应商，新的FlashScan产品线宣告公司进入专用空白光罩的检验市场。光罩

KLA-Tencor 光学空白光罩 FlashScanTM

2017-08-21 09:41