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  • 刻蚀机是芯片制造的关键装备之一,中微突破了“卡脖子”技术

    5纳米,相当于头发丝直径(约为0.1毫米)的二万分之一,将成为集成电路芯片上的最小线宽。台积电计划明年进行5纳米制程试产,预计2020年量产。最近,中微半导体设备(上海)有限公司收到一个好消息:其自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证,性能

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    2018-12-18 09:37

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