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国内首创,北京经开区诞生“国际先进水平”晶圆倒片机
11月30日消息,晶圆倒片机是集成电路制造中的重要装备,长期以来高速晶圆倒片机需要海外进口。近日,区内企北京京仪自动化装备技术有限公司(以下简称“京仪装备”)自主研发出了高速集成电路制造晶圆倒片机,每小时300片以上的倒片速度指标达国际先进水平
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破解国产倒片机自动化难题!京仪装备成功研发出国内首台晶圆自动翻转倒片机
据北京亦庄官方消息,位于北京经开区的北京京仪自动化装备技术有限公司(以下简称“京仪装备”),成功研发出国内首台晶圆自动翻转倒片机,破解了国产晶圆自动翻转倒片机自动化难题。晶圆自动翻转倒片机是一项难度极高的工艺,用力过猛容易导致晶圆表面破损,力度