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  • 上海新阳:ASML-1400光刻机设备已进入合作方场地

    3月8日消息,上海新阳公布,公司自立项开发193nmArF干法光刻胶的研发及产业化项目以来,安排购买了ASML-1400光刻机等核心设备,并于2020年12月14日在《关于公司申请向特定对象发行股票的审核问询函的回复》中披露,该光刻机将于202

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    2021-03-09 09:22

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