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  • 半导体四巨头扩大EUV产能建置,EUV设备及材料供应商直接受惠

    3月24日消息,包括英特尔、台积电、三星、SK海力士等半导体四巨头今年扩大极紫外光(EUV)产能建置及量产规模,包括向艾司摩尔(ASML)采购最新0.33数值孔径EUV曝光机,每小时曝光产量(throughput)可提升至160片,并与ASML

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    2021-03-24 09:33

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