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半导体四巨头扩大EUV产能建置，EUV设备及材料供应商直接受惠

3月24日消息，包括英特尔、台积电、三星、SK海力士等半导体四巨头今年扩大极紫外光（EUV）产能建置及量产规模，包括向艾司摩尔（ASML）采购最新0.33数值孔径EUV曝光机，每小时曝光产量（throughput）可提升至160片，并与ASML

半导体 EUV 产能建置

2021-03-24 09:33