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上海微电子推出新一代先进封装光刻机：首台将于年内交付
日前，据上海微电子装备集团官方公众号，上海微电子举行新产品发布会，宣布推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。上海微电子此次推出的新品光刻机主要应用于高密度异构集成领域，具有高分辨率、高套刻精度和超大曝光视场等特点。上海微电子称，该封装光刻机可
日前，据上海微电子装备集团官方公众号，上海微电子举行新产品发布会，宣布推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。上海微电子此次推出的新品光刻机主要应用于高密度异构集成领域，具有高分辨率、高套刻精度和超大曝光视场等特点。上海微电子称，该封装光刻机可
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