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晶瑞电材又购得光刻机 KrF光刻胶量产导入已排上日程
12月8日，晶瑞电材对外披露，公司近期已购得KrF光刻机一台，可用于KrF光刻胶的曝光测试，同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中。此前，晶瑞电材已经购得用于负胶、g线、i线、ArF等4台光刻机，再加之此次购得的KrF光刻机，晶瑞电材已
12月8日，晶瑞电材对外披露，公司近期已购得KrF光刻机一台，可用于KrF光刻胶的曝光测试，同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中。此前，晶瑞电材已经购得用于负胶、g线、i线、ArF等4台光刻机，再加之此次购得的KrF光刻机，晶瑞电材已
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