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  • 晶瑞电材又购得光刻机 KrF光刻胶量产导入已排上日程

    12月8日,晶瑞电材对外披露,公司近期已购得KrF光刻机一台,可用于KrF光刻胶的曝光测试,同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中。此前,晶瑞电材已经购得用于负胶、g线、i线、ArF等4台光刻机,再加之此次购得的KrF光刻机,晶瑞电材已

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    2021-12-09 09:36

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