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韩国企业发力EUV光刻技术不断缩小与外企差距

据韩媒BusinessKorea报道，以三星为代表的韩国企业在EUV光刻技术方面取得了极大进展。根据对韩国知识产权局（KIPO）过去十年（2011-2020）的EUV相关专利统计，在2014年达到88项的顶峰，2018年为55项，2019年为5

韩国企业 EUV 光刻技术

2020-11-17 09:35