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    2019-08-30 14:53
  • IC装备专项支撑IC产业发展

    “极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项旨在开发集成电路关键制造装备,掌握具有自主知识产权的成套先进工艺及相关新材料技术,打破我国高端集成电路制造装备与工艺完全依赖进口的状况,带动相关产业的技术提升和结构调整。“十一五”期间,该专项重点针

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    2012-03-26 14:30

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