AEROTECH新推高精度Z轴纳米定位器

来源:电子工程网 作者:--- 时间:2016-03-25 10:46

定位器 AEROTECH

  此款新型 QNP-L 平台的行程范围为 100 μm 到 600 μm

  Aerotech (www。aerotech。com) 现已推出一系列 Z 轴压电纳米定位平台,可满足极高精度要求 的科研和工业需求。此款新型 QNP-Z 平台与现有的包括 QNP-L 直线平台和 QNP-XY 平台在内的产品,为精度要求最高的应用提供了全套解决方案。

  它们具有很高的分辨率、线性、重复性和高动态性能,能够满足显微镜到光学对准等最严苛的应用需求。该平台具有 0.15 nm 的分辨率,0.007% 的线性和 1 nm 的双向重复性, 从而保证了纳米级精度。

  各种行程范围(100 μm 到 600 μm)、反馈选项和真空版本增加了此 平台系列的多样性。它们由精密柔性铰链导向,用有限元分析法进行优化。这种设计具有出色的刚度和高谐振频率(高达 1050 Hz),能够实现高产能和快速闭环响应。

  所有 QNP 平台都具有优异的几何性能(直线度和角度误差), 同时将整体包装尺寸降低到最小。还备有转接板,使直线单轴平台、XY 和 Z 轴平台能够安装在一起进行同步多轴定位。

  Aerotech公司是一家为工业、政府、科研机构提供精密定位和运动控制产品的全球化顶级供应商,其产品专门针对高精度、高产能运动控制解决方案的应用需求提供关键性能指标。

  应用包括:

  ? 测试和检测

  ? 政府与高校实验室

  ? 军事

  ? 纳米技术

  ? 显微镜

  ? 半导体

  ? 微电子

  ? 光学

  ? 光电

  ? 数据存储

  ? 精密机械

  ? 金属

  ? 生命科学

  ? 医疗器械



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