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  • 半导体行业开启“材料时代”,先进材料和清洗方案比光刻机更重要

    行业专家表示,半导体行业在过去20多年时间里,光刻领域的进步,主要由特殊设备决定的;而在未来10年里,将过渡到“材料时代”。美国耗材供应商Entegris首席技术官JamesONeill表示,当前半导体行业掌控“更精细”工艺技术的角色,已经从光

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    2023-12-28 15:29

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