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    2017-09-15 09:44
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    2017-08-21 09:41
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    在美国西部半导体设备暨材料展(SEMICONWest)上,KLA-Tencor公司宣布推出四款新的系统——2920系列、Puma9850、SurfscanSP5和eDR-7110——为16nm及以下的集成电路研发与生产提供更先进的缺陷检测与检查

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    近日,KLA-Tencor公司宣布推出Teron?SL650,该产品是专为集成电路晶圆厂提供的一种新型光罩质量控制解决方案,支持20nm及更小设计节点。TeronSL650采用193nm光源及多种STARlight?光学技术,提供必要的灵敏度和

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    2014-05-29 14:22
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    2010-02-22 09:23

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