法国Memscap公司MEMS晶圆厂投产

法国Memscap公司MEMS晶圆厂投产

     （华强电子世界网讯） 法国微机电系统(MEMS)开发商和制造商Memscap SA近日表示，专门建造的MEMS晶圆厂已经正式投产。
    
     该晶圆厂占地59,000平方英尺，耗资约5,500万美元建成。它的设备可以处理六英寸和八英寸晶圆，据称月产量超过4,000片晶圆。按微电子行业的标准来衡量，该厂的产能和投资规模偏小，而按MEMS行业的标准，它又属于大型企业。
    
     这家晶圆厂首先生产的是端口数较低的光电交换机和可调光学衰减器样品，这些产品都面向城市和接入级电信系统。此前，Memscap收购了JDS Uniphase旗下的MEMS事业部，以扩大其光学制造能力。
    
     Memscap的MEMS晶圆厂将采用自动化成批制造工艺，以实现重复生产和较高的良率水平。