MIS器件
来源: 作者: 时间:2008-12-04 00:53
以SiO2为栅介质时,叫MOS器件,这是最常使用的器件形式。历史上也出现过以Al2O3为栅介质的MAS器件和以Si3N4为栅介质的MNS器件,以及以SiO2+Si3N4为栅介质的MNOS器件,统称为金属-绝缘栅-半导体器件--MIS器件。
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来源: 作者: 时间:2008-12-04 00:53
以SiO2为栅介质时,叫MOS器件,这是最常使用的器件形式。历史上也出现过以Al2O3为栅介质的MAS器件和以Si3N4为栅介质的MNS器件,以及以SiO2+Si3N4为栅介质的MNOS器件,统称为金属-绝缘栅-半导体器件--MIS器件。
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