Tegal获得DRIE和ALN PVD设备订单 用于MEMS研究

     先进MEMS、功率IC和光电器件制造方案创新公司Tegal日前宣布收到了Tegal 110 DE/SE DRIE设备订单和Tegal SMT ALN PVD系统订单，来自两家领先的研究机构，这两家研究机构配备非常高端的实验设施。
    
     DRIE设备将出货至位于东南亚客户，该客户将采用该设备研究微系统、微流体和MEMS传感器，而ALN PVD系统将出货至北美客户，该客户研究RF MEMS和压电传感器等。