二手设备市场升温进入新时代

随着半导体业越来越趋成熟, 那些原始器件制造商(ODM) 开始对于二手设备有更多的需求, 所以在新设备与二手设备间关于它们的认识己经差异并不太大。现在许多半导体设备制造商如Suss Micro Tec及KLA-Tencor都有自已的二手设备部, 而且该部门日益在扩大。它们通过全球运作给予客户有各种二手设备的选择。

定义二手设备市场

二手设备市场可以分为OEM(原始设备制造商)销售,fab to fab销售, 租赁及中间商销售及翻新设备商销售。对于新设备的销售实际上是起补充作用, 尤其从设备的供货周期等考虑通常为新设备的一半时间与价格为新的40-70%。

从目前情况看,150mm设备主要是翻新设备市场, 二手的200mm设备开始呈上升趋势, 至少可持续到2010年底。可幸的是300mm设备也开始进入二手设备市场, 如奇梦达关闭,出售其整条12英寸生产线给德仪,用作模拟电路生产。

在此次产业下降时期,许多模拟电路制造商关闭其现有的100mm及150mm生产线,而进入200mm硅片时代, 它们的众多设备成了二手设备的来源。目前全球代工市场开始红火,它们积极地扩充产能。中国许多芯片制造商可能是二手设备的最大买主之一, 从常识出发,中国芯片制造商不太可能去追逐最先进工艺制程的竞争。

Solar,MEMS及LED制造商也开始加入翻新设备市场, 与先进IC技术制造商开展竞争, 目前来看它们的终端市场很红火, 生产设备呈现短缺, 导致二手设备市场也开始向它们供货,以满足这些专有市场的需要。

即便是那些品牌大厂也购买翻新设备,因为近时期(2004年之前) 來的设备能提供一流的产能及所有先进制程技术的能力。如果不是追求最先进的技术, 从成本费用节省角度购买二手设备是有吸引力的, 加之, 即便是核心设备, 在正常情况下也能工作另一个15年或以上。

翻新工艺

今天的翻新设备大多是由1990年代中期的设备经过翻新而成。翻新设备工艺通常是首先分解部件, 有些部件换成全新的, 然后按照OEM的指标重新装配在一起。从外观看, 这些翻新设备看起来如整旧如新, 表面都经过抛光或者重新喷漆。OEM提供设备的定期维护计划是十分严格,迫使翻新设备商也跟随设备制造商的推荐把那些必要部件进行更换。如典型的KLA-Tencor的Surfscan颗粒检测仪, 通常激光器与电源都要换成新的，由于光学系统通常不会损伤，所以进行必要的清洗, 调整与定位。

而且整个翻新过程在洁净间中进行, 当设备出厂之前会邀请客户至翻新现场作最终验收测试。

与过去时代大不一样, 二手设备通常附带的资料非常有限, 今天对于翻新设备尤其是非常复杂的如光刻机等, 其安装, 调试验收及培训, 所有一切翻新者都必须能提供。

翻新设备的软件仍是有些购买者的关注点。一台翻新设备通常带的是那个年代的软件版本, 如果需要最新的软件版本,购买者必须到原厂去购买软件的许可证。关键问题是购买如新设备那样的软件版本，从费用上是否合理, 相信是昂贵的。大部分二手设备客户还是愿意使用经过证实运行是稳定及可靠的软件, 但版本不一定是最新的。

SEMI作为全球贸易工业协会关于设备方面软件的应用十分有兴趣, 在2008年时它购买了SEC/N, 一家剩余的设备联盟网站, 能为二手设备市场的软件, 称之为SESTG(Secordary Equipment,Srvice and Technology Group)提供邦助。

无论对于半导体设备的质量与寿命及日益增强的需求，在业界中二手设备作为一种渠道已经得到市场的肯定。

一个实例

近期有一台翻新设备提供给客户是Karl Suss公司的MA150cc光刻机,, 根据配置不同, 它的原始出厂价在50-70万美元范围。有一年保证期包括安装与培训。供货周期为4-6个月。

ClassOne公司提供的翻新设备价格在22,5-27,5万美元(取决于不同配置), 保证期为6个月, 同样包括安装与培训。供货期为2个月。

翻新工艺

所有主要部件经过分解, 包括基台,TSA显微镜操纵器,BSA显微镜操纵器, 硅片传送机构, 片盒升降体, 快门组件, 灯源部分,WEC头及Z轴。所有驱动皮带, 开关及弯管(移动的管) 都更换新的。所有光源快门及透镜园柱体更换。预对准部分整体清洁及添加润滑油脂。所有操作器进行校正及显微镜进行重新测试与组装。公司为最终客户进行硅片测试, 包括光源校正, 并保证达到设备的原始出厂指标。

结论

最终用户收到一台几乎全新的光刻机, 经过完全的翻新, 仅用新设备一半的价格, 而且供货期缩短一半。它达到原始出厂指标, 可供量产使用若干年。