国产离子注入机进入晶圆生产线
来源:华强电子网 作者:—— 时间:2010-11-25 09:08
据了解,由北京中科信电子装备有限公司自主研发的300mm/65nm大角度离子注入机进入中芯国际(北京)集成电路制造有限公司,开始接受国际主流生产线的技术测试与器件工艺检验,为这一国产集成电路制造装备实现重大技术跨越作最后的冲刺。
这是国产高端离子注入机首次进入300mm主流生产线,表明国内的离子注入机研制已经逐步达到世界主流技术水平。
北京中科信公司研制的65nm大角度离子注入机以满足大规模生产线65nm制程工艺需求为目标,以提升产品工艺性能、整机可靠性及降低成本消耗为设计理念。在不到两年的时间里,北京中科信电子装备有限公司研发团队成功突破了多项关键工艺,完成多项核心研究,实现了设备的工程化制造、关键零部件国产化,完善了系统设计、系统加工、系统集成流程,保证了设备的高可靠性及工艺水平。
长时间的系统的性能测试结果表明,整机生产率、控制精度、软件可靠性、整机自动性能、工艺一致性等指标都有了显著提高,整机性能完全达到甚至部分已经超过了项目合同要求,同时适应国际300mm工艺生产线标准要求。
记者了解到,该设备具备先进工艺控制及故障诊断功能,出厂前已通过用户基本技术指标评估与硬件改进,其主要工艺性能及可靠性、稳定性已取得令人满意的效果。
- •免费直播预告 | 从理论到实操,全面解析ADC/DAC芯片测试前沿方案!2025-06-17
- •摩尔斯微电子携手Gateworks,利用Wi-Fi HaLow革新工业连接2025-06-04
- •【ICDIA参会指南】首个IC应用展,Show出中国芯力量!2024-09-24
- •2024中国(深圳)集成电路峰会成功举办2024-08-23
- •群“芯”云集,“圳”等你来!2024中国(深圳)集成电路峰会报名盛大开启2024-07-24
- •2024中国(深圳)集成电路峰会将于8月16日盛大开启2024-07-17
- •重磅!中国或禁止政府采购这类芯片和品牌2024-03-25
- •最新PMIC芯片市场竞争格局、供应商及发展趋势2024-03-19
- •出货量翻50多倍!这类芯片涨价20%!村田/ST/微芯/华邦电等最新现货行情 | 周行情137期2024-03-18
- •对标ST!这家国产厂商的该类芯片加速上车2024-03-15