日本牛尾电机展示曝光用LED光源

牛尾电机正在开发的曝光用LED光源，在“Semicon Japan 2011”（2011年12月7～9日，幕张Messe会展中心）上参考展出。有望取代之前使用的汞（Hg）灯。该公司表示，准备开拓能发挥LED光源特点的应用。

据牛尾电机介绍，展示的曝光用LED光源，其本身的开发已经完成，目前正在探索用户的使用方法。该LED光源可输出相当于汞灯g线（波长为436mm）、h线（波长为405mm）和i线（波长为365mm）波长的光。目前的光强度相当于输出功率750W的汞灯。该LED光源的特点是，可改变汞灯中固定的g线、h线和i线的光强度比。另外，虽然与之前使用的汞灯相比初期成本较高，但由于使用寿命长，所以可降低运行成本（Running Cost）。此外，其发热较低，可实现节能省空间化。牛尾电机表示，将开拓能发挥这些特点的应用。