Veeco发布最高生产效率的HB LED生产设备

　　2月10日消息：Veeco日前宣布，引进的TurboDisc®MaxBright™氮化镓（GaN）有机金属化学气相沉积法（MOCVD）多反应器系统用于生产高亮度二极管（HB LED）。

　　MaxBright已经接受了一个领先的LED制造商和威科目前已MaxBright系统，台湾和中国其他顶级制造商在韩国。

　　TurboDisc MaxBright氮化镓金属有机化学气相沉积多反应器系统

　　MaxBright利用Veeco的市场领先的统一FlowFlange®集群架构自动化技术和专业知识在一个模块化的两个或四个反应器通过组合多个，新，高通量金属有机化学气相沉积反应器。该MaxBright反应堆，K465i的基础上经过生产验证，特征既要扩大晶圆的生产能力和先进的，专有的，封闭循环，热控技术。这些反应堆达到25%以上K465i吞吐量超过标准，同时扩大证明性能优势-均匀性，重复性和材料的质量。该MaxBright MOCVD系统提供业内领先的晶圆的生产能力可达216 × 2“,56 × 4”,24 × 6“或12 × 8”晶圆。此外，无缝转移K465i配方MaxBright使客户能够实现快速生产的开始。

　　据威廉J.米勒博士，执行副总裁Veeco的化合物半导体业务，“MaxBright的价值主张是明确的：它是最高的生产力MOCVD系统制造高亮度LED市场上。该架构支持单腔或多腔层的生长能力，提高LED结构过程的灵活性高要求。 MaxBright的紧凑型架构还允许一个独立的金属有机化学气相沉积系统足迹效率增益高达2.5倍。总体而言，MaxBright提供了500%的增值比较紧凑封装的K465i以灵活的。”

　　约翰R·皮勒，Veeco公司的首席执行官补充说：“威科大大加快我们的金属有机化学气相沉积技术的投资和新产品开发计划，以进一步降低LED的制造成本。我们很高兴能推出这项新的，高效率的能力和资本生产力系统过程的一部分，我们的多代提高MOCVD生长的路线图。 MaxBright将使产业加快过渡到LED照明。 2010年，K465i成为了市场领先的MOCVD系统。而现在，MaxBright进一步扩展Veeco的产品领先地位，最富有成效的和最低的拥有成本上的金属有机化学气相沉积市场的工具了。”