EV Group拓展高亮LED产品线 推出新型掩膜对准系统
来源：LED环球在线 作者：--- 时间：2011-02-24 00:00
领先的晶圆键合和光刻设备供应商EV Group宣布最新的产品线更新，用以优化高亮LED、化合物半导体和功率电子的制造。新的EVG620HBL全自动紫外光源和5个盒装卸台，可实现器件的连续生产，具有极强的竞争力。EVG620HBL也因此具有无可比拟的每小时165片6寸晶圆的吞吐量，且拥有业界最高的对准精度和良率。
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