半导体大厂投入MEMS晶圆代工业

半导体大厂投入MEMS晶圆代工业

       基于开发差异化平台为竞争策略，加上政府政策补贴下，多数晶圆代工业者已经逐步放弃在奈米级先进制程与一线晶圆代工业者拼搏，转而朝向特殊制程与MEMS制程投入研发。包括中芯、上海先进、宏力、华润上华等晶圆代工厂透过与半导体厂的策略合作，相继投入MEMS产品研发。

       中芯目前MEMS制程研发处于起步阶段，亦无锁定任何MEMS产品；宏力亦跨入MEMS领域，主攻车胎用压力感测计；华润上华找到合作夥伴，从2011年开始即有产品，2012~2014年将陆续推出胎压感测器、MEMS红外线感测器、加速度计、重力感测器、2轴及3轴MEMS陀螺仪、3轴加速度器等产品。

       上海先进亦投入MEMS技术的开发，目前与半导体大厂进行长期策略合作， 2012年起接受小量订单，未来将陆续推出3轴陀螺仪、胎压感测器等。

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