国内首条全开放6英寸MEMS中试线在苏州园区运营

　　18日，国内首条全开放、市场化运作的6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线正式在园区运营，并成功交付首个产品。这意味着今后中小MEMS企业研发样品可通过该中试线进入规模生产。

　　苏州6英寸MEMS中试线，由苏州纳米科技发展有限公司建设，共16000平方米，其中超净工艺场地5200平方米。该中试线是江苏省“十二五”重大科技平台项目，也得到了工信部“工业转型升级服务平台项目”支持。

　　苏州纳米科技发展有限公司负责人、苏州市集成电路行业协会秘书长张希军表示，中试线不仅是中小企业的创新平台，更弥补了我国MEMS产业创新链的空白。“国内中小MEMS企业发展面临很多困难，其中一个关键的难题是产品的工程化与中试生产，规模代工厂门槛较高，高校院所的实验室工程化能力较弱或开放度不够，产品的工程化中试已成为影响中小MEMS企业规模化成长的瓶颈。”

　　“我们的中试线，与科研机构的概念验证、单步工艺能力不同，主要开展中试和小批量生产业务，前端与产品样品衔接，后端与规模代工厂衔接，是一个完全工业级别的中试线，不仅可以帮助中小企业创新，还可以促进他们规模化发展。”中试线运营总监游家杰告诉记者。

　　中试线上能做啥

　　苏州6英寸MEMS中试线采用市场化、全开放的运作模式，主要开展MEMS产品工艺研发、MEMS加工、部分封装测试、专利运营、设备租赁、超净场地租赁、工艺技术培训等十多项专业服务，目前已成功导入压力传感器、微镜传感器、微流体传感器等产品，样品测试结果良好，基本具备了MEMS芯片的开发加工能力。

　　产业介绍

　　当前，我国正处在MEMS产业格局形成、产业化加速发展的时期，江苏MEMS产业资源集聚度最高，正成为国内该产业最具吸引力的区域。苏州在MEMS产业布局多年，目前形成了MEMS传感器的芯片设计、研发、中试、封装测试的全覆盖的产业特色，涌现了晶方半导体、敏芯、明皜等一批业界知名公司。

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