Tektronix推出Keithley S540功率半导体测试系统

Tektronix推出Keithley S540功率半导体测试系统

　　Tektronix宣佈推出Keithley S540功率半导体测试系统，这是为高达3kV的功率半导体装置和结构提供的全自动48针脚参数测试系统。完全整合的S540是专为与最新复合功率半导体材料 (包括碳化硅 (SiC) 和氮化镓 (GaN)) 搭配使用而进行最佳化处理，可在一次探头接入中执行所有高压、低压和电容等测试。

　　随着对功率半导体装置的需求不断提高，同时，SiC和GaN也日益商业化，製造商正在生产製程中採用晶圆级测试，以有效提升良率并改善盈利能力。针对这些应用，S540显着地缩短了测试时间和测试设定时间，并减少了佔用空间，同时实现了实验室级高电压量测效能，进而降低了拥有成本。

　　Tektronix的Keithley产品系列总经理Mike Flaherty表示：「许多晶圆厂正使用自订的混合测试系统来执行功率半导体测试，在从低电压测试转向高电压测试时，需手动变更测试设定。正如您所预期，这会增加製程步骤并拖慢生产速度。相较之下，S540是一款完全整合的解决方案，特别适合必须迅速测试各种装置的生产环境。」

　　为提供生产级效能，S540可在高达48针脚上执行参数量测，而不需更换电缆或探棒卡设施，还可执行高达3kV的电晶体电容量测，如Ciss、Coss和Crss，而无需手动重新配置测试针脚。S540还提供了pA级量测效能，可在不到1秒内执行全自动高压洩漏电流测试，进一步提升了测试产出量。

　　S540为标準商业化产品，提供了可完整追踪的系统规格、安全相容性、诊断功能，以及全球性服务和支援，而这些都视内部开发或自订的系统常无法提供的功能。S540秉承了Keithley 30余年的半导体参数经验，完美整合了领先业界的半导体测试仪器与高低电压切换矩阵、连接缆线、探棒卡转接器、探测器驱动程式和测试软体。

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