屹唐半导体首批下线产品为干法去胶、干式刻蚀和快速热处理等设备

　　10月16日，北京屹唐半导体科技有限公司(下称“屹唐半导体”)在北京亦庄举办新产品下线仪式，这意味着半导体设备制造业也展现了不错的发展势头。

　　屹唐半导体首批下线产品为干法去胶、干式刻蚀和快速热处理等设备。在本次仪式上，屹唐半导体也将部分产品正式交付给了中芯北方、长江存储、以及华力微电子等客户，已经成功进入客户生产线。

　　其中，包括交付给中芯北方的Suprema等离子体去胶设备，交付给长江存储的Helios XP快速热退火设备，以及交付给上海华力微电子的Helios XP快速热退火设备等等。

　　据悉，屹唐半导体主要为12英寸晶圆厂客户提供干法去胶(Dry Strip)、干法刻蚀(Dry Etch)、快速热处理(RTP)、毫秒级快速热处理(MSA)等设备及应用方案，拥有完整的知识产权。干法去胶(Dry Strip)、快速热处理(RTP)、毫秒级快速热处理(MSA)设备在各自细分领域都位于世界前三。

　　以收购求突破

　　众所周知，在芯片制造当中，关键零部件大多来源于上游设备厂的工艺开发，所以发展中国半导体装备是非常重要的，而中国半导体产业发展过程中最大的短板即是设备和材料环节，其对国内产业突破的影响巨大。

　　为了解决这一问题，屹唐半导体自2016年成立就决定以约3亿美元的总价收购Mattson Technology，正式进入半导体设备制造领域。

　　Mattson Technology是全球知名的半导体晶圆蚀刻机台设备供应商，于1989年在硅谷成立，主要提供干式剥离、蚀刻、快速热制程(Rapid Thermal Processing，RTP)、毫秒退火(millisecond anneal，MSA)以及化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)等设备。

　　虽然在收购前期，由于团队不稳定和大客户的流失导致其业绩遭遇大幅下跌，不过通过不断的新技术开发，重新拿到大客户订单，并得到了更大的市场份额，在并购一年之后，屹唐半导体创下了公司三十年的历史最好成绩。

　　如今，经过两年多的整合，屹唐半导体新产品也成功下线，营收也将突破7000万美元，明年营收更将会超过1亿美元。

　　本次产品下线是屹唐半导体在收购Mattson Technology之后首次对外发布新的产品，可以说是中资收购国外半导体产业链公司推动国内产业发展的成功案例。

　　北京工厂年产设备100台

　　据了解，屹唐半导体北京工厂2018年4月开工建设，9月投产，10月首台产品正式下线，其投产速度极快。

　　该工厂建筑面积共5100平方米，其中生产厂房面积超3600平方米，配套建设有1000余平方米的万级洁净厂房和100平方米千级洁净验证测试间。工厂设计有10个组装测试工位，每年可生产设备100台以上。

　　此外，北京工厂还具备去胶、刻蚀和毫秒级退火等产品本地组装能力，并能够完成设备出厂前所有测试。其中研发测试中心具备国际先进水平的工艺实验、检测、研发环境;同时具备包括客户培训体系、现场技术支持、备品备件管理、客户投诉体系等在内的架构完备、响应快速的客户服务体系。

　　此举能让屹唐半导体更好地服务于中国半导体产业发展，实现国际品牌国产化，尽快提供“就地制造、就地研发、就地培训、就地支持”等高效服务。

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