加速12英寸大硅片国产化 西安奕斯伟硅产业基地扩产项目开工

加速12英寸大硅片国产化 西安奕斯伟硅产业基地扩产项目开工

6月14日，西安奕斯伟硅产业基地扩产项目于西安市高新区开工，奕斯伟硅产业基地目前拥有一座50万片/月产能的12英寸硅片工厂，已于2020年7月投产，为多家海内外晶圆厂提供抛光片和外延片。本次扩产项目投产后将进一步提升我国半导体硅产业技术实力，强化集成电路产业链综合竞争力。

近两年来，受多重因素影响，集成电路产业产能紧俏，作为上游原材料的大硅片需求不断攀升。然而，我国集成电路产业关键原材料尚处于发展初期，硅片产能主要集中于小尺寸，大尺寸自给率低，约95%以上的12英寸主流硅片正片仍依靠进口，国内产能存在巨大缺口。尺寸越大的硅片，其制造难度越高，对原材料纯度、硅片平整度、表面颗粒数和金属残留量等技术指标的要求就越苛刻。