“EUV工艺-标签”的相关资讯
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三星平泽P2新工厂加快投产DRAM，或导入EUV工艺
据韩国媒体Ddaily报道，三星正在加快先进工艺的过渡，位于韩国京畿道平泽P2号工厂正在安装设备，同时建设极紫外光刻（EUV）生产线，计划生产先进的DRAM。据行业消息称，三星与设备商已签署了设备合同，正在平泽新工厂中安装半导体设备，将用于批量
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随着三星宣布7nm EUV工艺的量产，2018年EUV光刻工艺终于商业化
随着三星宣布7nmEUV工艺的量产，2018年EUV光刻工艺终于商业化了，这是EUV工艺研发三十年来的一个里程碑。不过EUV工艺要想大规模量产还有很多技术挑战，目前的光源功率以及晶圆产能输出还没有达到理想状态，EUV工艺还有很长的路要走。在现有
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台积电采购EUV 2018年或迈入7纳米时代
欧洲半导体设备大厂ASML透露，晶圆代工大厂台积电(TSMC)计划在2015年采购两套超紫外光(EUV)扫描机，或将探底至7纳米的工艺技术节点。根据ASML资深副总裁FritsvanHout的描述，台积电采购的EUV扫描机是针对10纳米工艺应用
2014-12-15 09:51