Cascade晶圆探针的接触电阻小于0.1欧

Cascade晶圆探针的接触电阻小于0.1欧

     (华强电子世界网讯) Cascade Microtech公司推出的Infinity Probe晶圆探针铝盘的接触电阻小于0.1欧，可使用100,000次以上，它具备晶圆器件的特性，可在0Hz至110GHz之间建立模型。
    
     这种针测设备适合使用硅片或SiGe技术的公司，它将专用薄膜技术与同轴技术结合在一起，通过优化影响接触电阻的关键针测因子获得优异的接触电阻特性，如尖端接触区域、施加的力、尖端冶金及压片滑条。
    
     Infinity Probe仅需轻微的水平滑动(滑条)即可突破氧化铝与铝盘接触，再加上尖端接触区域仅为12×12μm，因此它对铝盘损害很小，在仅为50×50μm的区域内可保持良好的接触。
    
     由于限制散射区域的光刻薄膜结构比传统灵活共面尖端的要求更高，因此Infinity Probe还改进了回波损耗、衰减、串扰及校准验证。