SAW弹性波观测技术在富士通问世

     富士通研究所日前宣布，成功地开发出了用于分析SAW（表面弹性波）滤波器工作情况的弹性波观测技术。使用此次开发的技术，能够设计出衰减更小、性能更高的SAW滤波器。另外，在11月7日日本大阪府丰中市召开的“LSI测试技术研讨会（LSI Testing Symposium）”上，该公司已公开了此项技术的详细情况。
    
    　　此次开发的技术原理是:用激光照射SAW滤波器，然后用测光元件检测通过结晶的激光，最后根据观测到的激光变化来评价SH波的强度（图1）。实验结果表明，这样能够观测到滤波器元件内部的弹性波分布，随着射入滤波器的信号频率的变化而变化的情况。另外，据称还检测到了弹性波泄漏的发生状况（图2、3）。检测区域为10mm见方，空间分辨率为0.8μm。检测频带为1GHz以下。能够检测到数pm（皮克米）的弹性波振幅。
    
    　　由于利用此项技术可准确了解弹性波的变化情况，因此有望对SAW滤波器进行更精密的设计，从而提高滤波器性能。富士通研究所准备进一步提高检测性能，争取2003年使该技术达到实用水平。