Edwards推出新一代干式真空泵

     Edwards推出了面向半导体和太阳能制造的iXH新一代干式真空泵。太阳能和新半导体制造工艺（如砷化镓化合物半导体）要求能够处理大流量氢气的真空技术，iXH系列干泵是为解决这些难题而特别设计的，它拥有更长的使用寿命和更低的动力消耗从而减少了运行成本。iXH真空泵系统采用一系列具有高抽气速率的干式泵和增压泵以达到最佳的压缩比，从而实现高效率地抽取氢气。
    
     该系统为模块化设计，可灵活配置，因此易于满足各种太阳能和半导体制造工艺中的现场安装和性能要求。部件可以上下堆叠，从而达到业内最小的占地面积。各种型号的iXH真空泵可针对具体应用要求灵活配置，并且由单个控制器进行管理，对操作人员而言这是一种简单易用、可无缝集成的真空系统。