何田：半导体设备也要"中国造"

　　回国拼搏这么多年我从未后悔，我觉得身处中国前所未有的大发展时期，是我最幸运的事。这种参与感让我奋进不止，我将尽最大努力和其他人一起推动中国集成电路制造装备业的自主创新。

　　浅色衬衣、利落短发，39岁的何田举手投足间充满活力。身为中国电子科技集团公司第四十五研究所副总工程师和北京中电科电子装备有限公司总工程师，他拥有3项国家发明专利，并在国际知名学术刊物和会议上发表论文10余篇，是国家“千人计划”中少有的“少壮派”，也是半导体专用设备、高速精密运动控制、电磁驱动装置等领域的权威专家。

　　海外漂泊始终“中国心”

　　1994年刚从中国科技大学毕业的何田，先后获得了美国路易斯安那州立大学机械工程系硕士学位和佐治亚理工学院博士学位。2000年，何田受聘于美国库立克和索法工业集团公司，担任资深机械工程师，成为一名掌握引线键合机最尖端核心技术的高级技术人员。

　　2002年，身在美国的何田偶然间了解到，中国电子科技集团公司第四十五研究所正在进行引线键合机的攻关，他隐隐感到这是个遍寻不遇、能充分发挥自身优势的回国发展的契合点，于是他卖掉了所有的辎重，背上一个简单行囊回到了祖国。

　　一步步赶超世界水平

　　本世纪初的中国虽然已是半导体生产的大国，但国内的微电子制造设备行业却几乎是空白。“当时国内行业刚起步，还处在一个从无到有的过程，配套工业不足，符合要求、经验丰富的技术人员也很难找到，很多事要自己一点点亲手去做。”何田说。

　　何田在这样的环境中，一边加紧开展国家项目，一边因地制宜进行设备核心技术的深入研究，同时大力培养刚刚走出校门的学生。高刚度轻质工作台、大推力线性音圈电机、高速精密运动控制算法、高速机器视觉定位算法、超声波发生器、电子打火盒……何田带领团队攻克了一个个难关。

　　何田创业时，大推力线性音圈电机在国际市场上只有一种型号。如果依靠进口，产品成本降不下来，在市场上没有竞争力，何田当即拍板：这个电机我们自己做。

　　何田并不是电机方面的专家，但他和电机攻关组的所有技师一同住在了研究所，自己制作模具，再送到厂家去制造，有时候因为误差，一个电机的零件要来来回回重新设计和制模三四次。两个多月夜以继日，终于成功地研制成了国内首个具有自主知识产权的大推力线性音圈电机。“这个电机的每一个零件我闭上眼都能回忆起来。”何田感慨不已。

　　困难再多也要自主创新

　　随着一批具有自主知识产权的核心技术为何田的团队所掌握，他们一步步向国际水平迈进。“局部的技术虽然已经接近国际水平，但整机可靠性和性价比还与国外有相当的差距。”何田并不骄傲。

　　以其十多年国内外丰富实践培养出的开阔视野，何田敏锐地意识到以引线键合机和芯片键合机等为代表的半导体设备已经进入了微利时代，国内半导体设备行业将直接面临国际成熟厂商技术和成本的双重严酷竞争，全面深入地掌握相关核心技术是国产封装设备有效应对国际化市场竞争的必由之路。

　　为此，何田把精力更多地倾注到以运动控制和机器视觉为代表的共性核心技术上，经过半年多的努力，这一工作在中电科公司的核心产品芯片键合机上初见成效，在性能大幅提升的前提下，成本降低近40%。