MOCVD未来在LED应用中新技术趋势

　2010年10月14日，第七届中国国际半导体照明展览会暨论坛配套活动--MOCVD技术国际短期培训班在深圳会展中心6F桂花厅胜利召开。此次MOCVD技术国际短期培训班由国家半导体照明工程研发及产业联盟（CSA）主办，德国爱思强股份有限公司作为承办及赞助支持单位。德国爱思强公司研发副总裁Michael Heuken及上海蓝宝光电材料有限公司总经理李刚担任大会嘉宾主持。来自德国、新加坡和中国台湾等国内外十余位行业专家将从各个角度剖析MOVCD技术现状与发展趋势。

　中国半导体照明产业的蓬勃发展，带旺相关设备的需求。德国爱思强（AIXTRON）公司目前MOCVD 设备制造商之一，大尺寸和多片式的MOCVD设备，在LED设备领域的市场占有率已高达70%.爱思强（AIXTRON）MOCVD系统主要基于两个独特技术：Planetary Reactor?和Close Coupled Showerhead? (CCS?)  .

　　据统计，由于TV背光和通用照明市场的启动，加大了高亮度LED的需求，LED电视市场渗透率加速提升，2010年有望达到20%-30%.LED照明应用已经从过去户外LED路灯走向室内照明应用，LED照明商机为业界带来无穷想象空间。受此影响， 2010年中国大陆市场对MOCVD需求有望达230台，占全球整体市场份额的23%,Michael Heuken首先对未来的半导体照明市场进行了预测，他认为从2009年到2014年，半导体照明市场将会保持年增长率31%的速度，这将大大推动半导体照明技术的发展。

爱思强（AIXTRON）认为未来MOCVD设备开发的趋势将围绕如何提高设备稳定性、提高产品良率、降低材料使用量等方面进行设计。具体来看，主要为以下几个方面：从提高产品良率及产能两方面同时着手降低外延成本；提高机台稳定性；在增加产能的同时，减少人工操作，人为干预；开发降低成本，扩大产能的同时可减少MO源的使用量的产品；开发多腔式外延炉等。

　　着眼于未来LED需求将大幅增长，爱思强已开发出8寸MOCVD机台，协助客户降低生产成本、提升效率与扩充产能。身为有机金属物化学气相沉积（MOCVD）机台大厂，Aixtron表示研发不断创新也很重要，为配合LED一般照明市场需求，协助降低LED芯片制造商的成本。Aixtron投资建设研发中心第1期营运预计聘雇350名研究人员，大幅增加原理型设备（prototype）的研发能力。同样，Aixtron认为中国也迫切需要联合外方兴建一个MOCVD的研发中心。