梁红兵：合力发展国产半导体装备产业

目前，我国半导体设备产业最大的特点是低成本。中国半导体设备进入市场有助于降低整个产业的成本，这是国产设备对整个产业发展的贡献，同时也是国产设备的发展机会。上海微电子装备公司的封装光刻机、北京北方微电子公司的8英寸多晶硅刻蚀机、盛美的清洗设备、中微的12英寸刻蚀机等都是非常有竞争力的设备，很多产品已经走出国门。这些都是最近几年中国半导体设备产业的亮点。当然这些成绩也只是国产设备的初步发展，要真正做到国产高端设备全面进入国内和国际两个市场还需要付出相当多的努力。
    

客观地讲，中国半导体设备业要获得大的突破还有很长的路要走。特别是设备与工艺的结合问题，一直是制约国产设备进入大生产线的主要瓶颈之一。设备硬件的改进与工艺软件上的改进有时是分不开的。国外设备厂商特别是关键的、与工艺密切相关的前道设备厂商在工艺上投入巨大，他们一般都建有相应的工艺研发生产线。而中国几乎没有拥有自己工艺研发生产线的半导体设备厂商。工艺固化到设备中，我们还有一定的距离。国家重大专项对半导体设备与工艺的重视，对国产装备业来说是莫大的发展机会。
    

设备业要真正壮大，取决于两个因素：一是电子工业的基础，即构成设备的基本部件的水平。目前我国的真空棒、质量流量计、不锈钢接头阀门、等离子体源等这几个基本部件与国外差距太大。虽然我们可以购买，但国产设备的成本优势就会大打折扣。因此，中国半导体设备产业的发展一定要从基础入手，从零部件入手。二是要有自己独到的技术和创新理念，同时设备要与工艺密切结合。“跟踪”没有前途，“赶上”也未必能生存，中国半导体设备业只有超越才能发展。
    

半导体设备业的发展，依赖于零部件产业的发展，更依赖于半导体制造企业工艺技术实现由技术跟踪到技术引领的跨越。理性看待国产装备业的成绩，同时正确分析存在的差距与问题，国产设备才能迎来更加快速和令人欣喜的大发展。