牛尾电机UV灯“Full/Half亮灯方式”实用化获得成功

牛尾电机宣布，超高压紫外线（UV）灯的环境负荷的“Full/Half亮灯方式”的实用化获得了成功，从而可降低半导体及液晶制造工序中使用该灯时的功耗。据牛尾电机介绍，使用该技术，超高压UV灯的耗电量及二氧化碳（CO2）排放量可比原来削减40%.

　　超高压UV灯主要作为半导体、液晶及印刷底板等光刻工序光源，配备在各种曝光装置上。在这些产品的制造工场，为了提高成品率及生产效率，制造装置的功耗在不断增大。尤其是在液晶面板的制造上，随着玻璃底板尺寸的扩大，曝光面积不断增加，超高压UV灯也有输出功率增加及使用数量增多的趋势，使制造现场的环境负荷也随之增加。针对这种趋势，人们的环保意识不断提高，因此如何削减环境负荷成为重要的课题。

　　牛尾电机此次开发出了可对超高压UV灯在两个阶段切换的“Full/Half亮灯方式”:工作时可将实际曝光所需的输入电力保持在100%,而待机时降至50%.原来无论工作时还是待机时输入电力均为100%.据称，由此超高压UV灯的耗电量及CO2排放量可较原来削减40%.比如，使用20个25kW超高压UV灯的生产线，耗电量每年可削减约204万kWh（电费约为2640万日元），CO2排放量每年可削减约780吨。并且，由于UV灯的总放射热量也相应减少，因此还有助于实现曝光装置及冷却单元的小型化等，削减总体运营成本。

　　为使该技术实现实用化，牛尾电机进行了以下改进：对曝光装置来说，可分为向曝光对象照射UV的时间（工作时），以及为更换曝光对象或进行各种调整而不照射UV的时间（待机时）。在待机情况下，本无需点亮UV灯。但原来的UV灯待机时因输出功率降低，灯的电极会发生热变形，因而会导致灯的亮度及寿命等降低的问题。因此要在保持输入电力为100%情况下，开闭位于灯和曝光对象之间的快门。也就是说，在本来不需要点亮超高压UV灯的待机情况下，也会耗电及排放CO2.牛尾电机此次新开发出了待机时即使输出功率减至50%也不会发生热变形的电极。并准备了可调整工作和待机时间间隔及输入电力的控制单元。