下一代的MOCVD技术的趋势是什么
来源:华强LED网 作者:—— 时间:2011-03-22 14:47
今年,中国LED企业在上游芯片领域动作层出不穷,纷纷启动了建厂、扩厂计划。业内专家认为,随着未来大量的MOCVD投产,芯片价格会下降,这对产业是利好消息,但是哪个企业最终抢占商机,人才是最关键的因素。买来的MOCVD质量如何?型号是否先进?下一代的MOCVD技术的趋势是什么?这些都是企业应该思考的问题,也能从Michael Heuken的报告中得到很多启示。
Michael Heuken首先对未来的半导体照明市场进行了预测,他认为从2009年到2014年,半导体照明市场将会保持年增长率31%的速度,这将大大推动半导体照明技术的发展。大尺寸衬底是未来发展趋势,因为它符合价格降低、提高产能、高程度自动化及最大程度利用硅衬底的需求。目前2英寸和4英寸还是市场主流,但是有些公司已经开始考虑6英寸,甚至开始着手做8英寸的设计。据Michael Heuken介绍,AixtrON公司的Crius 200mm/300mm MOCVD系统能够在大尺寸的衬底上外延,并保持良好的厚度和波长均匀性。
Michael Heuken认为温度管理非常重要,他说,“对外延技术而言有三个非常关键的指标,第一个是温度,第二个是温度,第三个还是温度”,温度管理可以帮助加强统一性,也可以对比较大直径的晶片做更好的控制。
未来可能和LED技术融合的技术包括Si基技术和GaN量子线技术。
此外,Michael Heuken还介绍了Aixtron新开发的G5 HT设备,它能够满足56x2 inch / 14x4 inch / 8x6 inch / 5x8 inch的外延需求。G5 HT在600 mbar以上的高压下能以极高的速率完成高质量的氮化镓沉淀,相比G4 HT产能可提升33%.
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