12英寸全自动芯片生产线开始试流片

12英寸全自动芯片生产线开始试流片

集成电路是信息产业的核心，也是当前国际高新技术产业竞争的焦点之一。２９日，由国资控股的１２英寸集成电路生产线项目——华力微电子１２英寸全自动芯片生产线５５纳米工艺产品开始试流片，标志着这一国家电子信息产业的重大工程进入了新阶段。

华力微电子１２英寸芯片生产线项目是在上海华虹集团８英寸集成电路芯片生产线基础上的升级项目，于２０１０年年初正式启动。项目投资总额１３５亿元人民币，将建设成第一条国资控股、主要面向国内市场的１２英寸集成电路芯片生产线，具备９０－６５－４５纳米技术等级，月产３．５万片晶圆，验收后将向更高工艺等级迈进。

据介绍，华力微电子１２英寸芯片生产线项目于２０１０年１月１９日启动，于当年１１月２０日实现了首台核心工艺设备光刻机的搬入，并在最短的时间内完成了首期月产能１万片的设备安装调试。本条生产线配备了硅片全自动搬运系统，这使得华力微电子成为国内首家实现全自动生产的１２英寸代工企业。

这条规模大、技术新的１２英寸集成电路生产线在沪“上马”，也意味着上海国资控股的集成电路企业将形成国际主流的芯片制造业务格局，从而具备不同技术等级的产品加工能力，可以制造大量国内急需的高端集成电路重要产品，具备承担和支持国家科技重大专项的相应能力。