光明院研讨LED工艺
来源:中国化工报 作者:--- 时间:2012-01-13 00:00
光明化工研究设计院日前举办了GaN基LED生产工艺及特种气体应用专题报告会。此次报告会将为光明院发挥技术优势,有针对性地的研发生产LED用气体提供指导。长期从事LED研发生产的知名专家在会上作了精彩的技术讲座。
专家演示了GaN基LED芯片的制造过程,并详细讲解了高纯氨、高纯氢、高纯氮、硅烷/氢气混合气以及MO源在LED外延片和芯片制造过程中的应用。光明院科研人员就LED行业现状和发展趋势、气体纯度对LED质量成本的影响等相关问题与专家进行了交流和讨论。
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