旭瑞光电已引进诺发公司PECVD LED镀膜系统

【高工LED专稿】 【高工LED讯】7月3日，诺发公司宣布已向旭瑞光电提供了一台VECTOR(R)型等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备，新设备将被安装在佛山旭瑞光电的生产车间里，用于生产金属基垂直结构高效LED。
 
诺发方面称其新型VECTOR LED镀膜系统是LED芯片制造产业中最具生产力的PECVD系统，包括光阻去除、物理气相沉积、电镀以及晶片抛光和减薄系统解决方案，将进入旭瑞光电现有的LED芯片生产线。
 
每晶片成本和每流明成本是驱动主流照明市场接受LED技术的关键因素。现有LED制造技术，主要是基于2-4英寸不同直径的蓝宝石衬底进行外延生长，这种方法本身生产效率低、能量消耗大，制备一片2英寸蓝宝石衬底LED，平均消耗的电能高达200kWh。
 
据诺发方面介绍，与传统LED镀膜设备相比，VECTOR系统在行业处于领先地位，因为它拥有宽的工艺窗口和高产能，使LED的每晶片成本得以下降。VECTOR LED镀膜系统中有一个多晶片载体装置，能够放置2、3、4、6、8和12英寸的不同尺寸晶片，产能巨大，且沉积的各尺寸薄膜质量和均匀性都很好，此外，VECTOR LED系统是在较低温度下沉积薄膜，这与传统LED用PECVD设备相比，生产过程易于控制且高效节能。
 
旭瑞光电是一家位于佛山的合资公司，今年5月23日正式开业，其股东之一为美国LED芯片制造商旭明公司(SemiLEDs Corporation)，其LED芯片项目是SemiLEDs在中国大陆投资的唯一项目，占地100亩，总投资超过3.5亿美元，将专业生产大功率高亮度LED芯片产品。