爱思强开发的BM 300被日本AIST成功投入应用

【高工LED综合报道】 4月12日，德国爱思强宣布，其BM 300系统在日本产业技术综合研究所(AIST)成功投入应用。该系统于2011年安装到AIST研究所设于筑波市的高级无尘室中，并由爱思强的当地服务支持团队进行调试。
 
爱思强表示BM 300是技术最为先进的石墨烯生产平台，拥有能够精准地输送前置物质成熟的气体输送系统、ARGUS原位晶圆热分布控制、高度均匀的晶圆加热器、自动化处理器等。在300mm的晶圆上实现高度可控且可重复的石墨烯沉积，是进行大规模的晶圆级石墨烯生产的必要步骤，并为新一代的半导体设施开发具有独特性质的石墨烯奠定了基础。
 
AIST将运用该系统沉积出限定层数的高质量石墨烯。这将是制造低电压CMOS FET加工技术的主要步骤，使其能够在低于0.3伏的电压下工作。