Veeco推出三款新系列氮化镓MOCVD设备

【高工LED综合报道】 6月7日，Veeco宣布推出3款新型市场领先的Turbo Disc® MOCVD，用于生产高亮度LED: Turbo Disc Max Bright® M™，Turbo Disc Max Bright MHP™以及Turbo Disc K465i HP™。
 
Max Bright M: 更紧凑的模块化Veeco多反应腔设备。与Max Bright相比Max Bright M能提供更好的服务便利性，厂房面积利用率提高15%。该机型具有更好的布局配置灵活性以适应不同客户的场地要求。
 
Max Bright MHP: 模块化的“M”机型中的高性能版。Max Bright MHP的片内波长均匀性比Max Bright提高了20%。由于技术进步，热性能和流动性能得到改善，因此良率得以提高。与MaxBright相比MaxBright MHP的使用成本更低。
 
K465i HP: 是Veeco的单反应腔MOCVD设备的高性能版。与K465i相比片内波长均匀性提高20%而使用成本更低。
 
这些新设备均支持2英寸、4英寸、6英寸以及8英寸晶圆生长。现有的Max Bright和K465i设备都能很容易地现场升级到高性能版。所有Veeco的MOCVD设备都拥有维护需求低的Turbo Disc技术，从而具有最长的设备连续生产时间和最高产量。
 
据调查，2010年推出的K465i设备是该年度最畅销的MOCVD设备。2011年推出的Max Bright是去年最畅销的机台。化合物半导体杂志最近为Veeco公司颁发了“化合物半导体制造奖”，评价道“Max Bright设备是化合物半导体制造业在过去一年中的最大突破”。