旭瑞光电向诺发公司购进新型VECTOR LED镀膜系统

日前，诺发公司宣布，现已向旭瑞光电提供了一台VECTOR(R)型等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备，新设备将被安装在佛山旭瑞光电的生产车间里，用于生产金属基垂直结构高效LED。

诺发表示，新型VECTOR LED镀膜系统是LED芯片制造产业中最具生产力的PECVD系统，包括光阻去除、物理气相沉积、电镀以及晶片抛光和减薄系统解决方案，与传统LED镀膜设备相比，VECTOR系统在行业处于领先地位，因为它拥有宽的工艺窗口和高产能，使LED的每晶片成本得以下降。

此外，VECTOR LED镀膜系统中有一个多晶片载体装置，能够放置2、3、4、6、8和12英寸的不同尺寸晶片，产能巨大，且沉积的各尺寸薄膜质量和均匀性都很好，且VECTOR LED系统是在较低温度下沉积薄膜，这与传统LED用PECVD设备相比，生产过程易于控制且高效节能。

旭瑞光电成立于2011年5月23日，是一家位于佛山的合资公司，其股东之一为美国LED芯片制造商旭明公司(SemiLEDs Corporation)，其LED芯片项目是SemiLEDs在中国大陆投资的唯一项目，总投资超过3.5亿美元，将专业生产大功率高亮度LED芯片产品。