PSS提升蓝宝石基板附加价值，台厂产能与品质佳但陆资厂将急起直追

PSS提升蓝宝石基板附加价值，台厂产能与品质佳但陆资厂将急起直追

PSS(Patterned Sapphire Substrate)，也就是在蓝宝石衬底上生长干法刻蚀用掩膜，用标准的光刻制程将掩膜刻出图形，利用ICP刻蚀技术刻蚀蓝宝石，并去掉掩膜，再在其上生长GaN材料，使GaN材料的纵向发展变为横向。

一方面可以有效减少GaN外延材料的位错密度，从而减小有源区的非辐射复合，提升内量子效率，减小反向漏电流，提高LED的寿命;另一方面有源区发出的光，经GaN和蓝宝石衬底界面多次散射，改变了全反射光的出射角，增加了倒装LED的光从蓝宝石衬底出射的几率，从而提高了光的提取效率。

图为广州展某展商展出的PSS制程

综合这两方面的原因，使PSS上生长的LED的出射光亮度比传统的LED大大提高，总体亮度可以有30%-50%的提升。同时反向漏电流减小，LED的寿命也得到了延长。

运用PSS图形化衬底来生长外延片是业内公认的提升亮度最有效最直接的方法，也是大功率高亮度外延片的第一选择。