国内首台48片MOCVD样机取得突破
在中国科学院和广东省共同支持下，由中科院半导体研究所负责研制开发的国内首台48片MOCVD样机取得重大进展。多家第三方机构检测结果表明，其各项性能指标达到同类国际MOCVD设备产品的水平。
据悉，样机不仅经过了真空、压力、温度、旋转、自动传输等一系列设备性能指标实验考核，还进行了氮化镓以及氮化物LED的外延工艺考核。外延的氮化物材料分别由山东华光、杭州士兰明芯、武汉迪源、上海蓝宝、扬州中科等国内主流芯片公司进行了性能测试和氮化物LED芯片制作。
在中国科学院和广东省共同支持下，由中科院半导体研究所负责研制开发的国内首台48片MOCVD样机取得重大进展。多家第三方机构检测结果表明，其各项性能指标达到同类国际MOCVD设备产品的水平。
据悉，样机不仅经过了真空、压力、温度、旋转、自动传输等一系列设备性能指标实验考核，还进行了氮化镓以及氮化物LED的外延工艺考核。外延的氮化物材料分别由山东华光、杭州士兰明芯、武汉迪源、上海蓝宝、扬州中科等国内主流芯片公司进行了性能测试和氮化物LED芯片制作。